INFICON SKY CDG025D 是温度补偿型电容膜片真空计,采用耐腐蚀陶瓷传感器,适用于要求稳定压力读数的真空工艺。
电话:13683101644
适合什么场景,选型时要核对什么? INFICON SKY CDG025D 是温度补偿型电容膜片真空计,采用耐腐蚀陶瓷传感器,适用于要求稳定压力读数的真空工艺。关键参数:满量程选项:100 mTorr~1000 Torr;测量原理:电容膜片;可选 RS232 接口及设定点,具体配置需按订货型号确认。适用场景:半导体刻蚀、CVD、PVD 和 ALD 工艺、工业真空设备。最终量程、接口和安装条件须按原厂资料及订货配置核对。
依据:原厂产品资料
资料来源:厂家技术资料。具体配置以订货资料为准。
本页产品简介说明:INFICON SKY CDG025D 是温度补偿型电容膜片真空计,采用耐腐蚀陶瓷传感器,适用于要求稳定压力读数的真空工艺。
本页“应用范围”栏目列出:半导体刻蚀、CVD、PVD 和 ALD 工艺;工业真空设备;需要高准确度压力测量的工艺
本页“产品特点”栏目列出:陶瓷传感器有助于维持零点稳定性。;支持一键调零。;传感器屏蔽结构可减少工艺污染影响。
建议先确认用途、使用环境、所需规格和接口要求,再结合本页资料核对具体型号。
请提供使用场景和所需配置,通过本页电话或“我要咨询”入口联系技术人员。