膜厚仪
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什么是膜厚仪
真空仪表
SQC-310C共沉积薄膜沉积控制器
SQC-310C共沉积薄膜沉积控制器
SQC-310C
INFICON SQC-310 系列拥有先进的电子元件、改进的显示屏和非常实惠的价格,为您提供竞争对手薄膜控制器所不具备的功能。

INFICON SQC-310 系列拥有先进的电子元件、改进的显示屏和非常实惠的价格,为您提供竞争对手薄膜控制器所不具备的功能。您可以选择适合您应用的理想型号:顺序沉积 (SQC-310) 或共沉积 (SQC-310C)。

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电话:13683101644


型号
SQC310SQC310C
QCM输入2(可选4)4
测量频率范围可调:
1.0 MHz较低
6.5 MHz较高
频率分辨率
0.25s测量间隔
± 0.012Hz
厚度和速率分辨率/测量
工具/密度 = 100/1,基础频率 = 6赫兹,0.25秒测量间隔
±0.015 Å
频率稳定性± 2 ppm, 0至50℃
测量周期0.10至1s(可调)
速率显示0.01 Å/sec
控制
存储
输出信号
数字输入
100 个过程、1000 层薄膜、50 种薄膜材料
0至+10VDC
5VDC-非隔离
设定点继电器8/8(16/16可选)16/16
电气接口RS232标准(USB、以太网口可选)
电源电压100-240VAC,25W
标准CE,RoHS

订购资料



    • 明亮的彩色液晶显示屏 - 提供英文或中文显示

    • 标准RS-232和USB接口(可选RS-232和以太网接口)

    • 通过 "快速设置 "菜单、6个上下文敏感按钮和方便的参数设置旋钮,实现简单的设置和操作

    • Windows®程序,用于开发、测试和下载过程,并将仪表数据记录到PC上,用于过程分析和质量控制

    • 精确的过程控制,尤其适用于低沉积速率,分辨率为±0.03 Hz,读数为10个/秒

    • 可存储多达100个过程、1,000层、50层薄膜的数据

    • 使用单个传感器或多个传感器监测源材料,以提供精确的源分布监测


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